CVD代表化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition），是一种常用的薄膜制备工艺。在CVD过程中，通过在适当的气氛中将反应气体转化为化学反应产物，使其沉积在基底表面形成薄膜。CVD工艺通常涉及以下步骤：1. 反应气体供应：选择适当的反应气体，通常是含有所需元素的气体或气体混合物。这些气体通过供气系统引入反...
CVD是Chemical Vapor Deposition的简称，是指高温下的气相反应。例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法，这种技术zui初是作为涂层的手段而开发的。CVD工艺的技术特征：（1）高熔点物质能够在低温下合成。
CVD (Chemical Vapor Deposition) 指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。化学气相淀积特点：淀积温度低，薄膜成份易控，膜厚与淀积时间成正比，均匀性，重复性好，台阶覆盖性优良...
求翻译:CVD工艺,日常维护经验丰富是什么意思?待解决 悬赏分:1 - 离问题结束还有 CVD工艺,日常维护经验丰富问题补充:匿名 2013-05-23 12:21:38 cvd process, routine maintenance experienced 匿名 2013-05-23 12:23:18 Routine maintenance CVD process, experienced 匿名 2013-05-23 12:24:58 The ...
《特种功能薄膜CVD制备过程热物理研究和新工艺探索》是依托中国科学技术大学，由王冠中担任项目负责人的面上项目。项目摘要 Functional material films are a series of insulating or dielectric films that effectively couple with pressure, temperature, sound, light or other environmental changes. State parameters ...
化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：（1）形成挥发性物质 ；（2）把上述物质转移至沉积区域 ；（3）在固体上产生化学反应并产生固态物质 。最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等几种。特点 1）在中温或...