半导体行业CVD废气治理 CVD废气首先经过Local Scrubber净化系统进行处理,Local Scrubber净化系统与CVD生产系统在智能系统的控制下进行联动,实现对一般有机废气和毒腐气体进行智能切换,CVD废气在经Local Scrubber净化系统处理后,排入中央废气处理系统,与一般有机废气混合在一起进行集中处理后达标排放。整套系统通过多技术的综合...
在为国内某大型半导体企业提供CVD废气治理服务中,通过分析,其CVD废气中主要含有氢气、甲基三氯硅烷(MTS)、甲烷、丙烷、丙烯、HCI和HF等危险性气体,我们设计了Local Scrubber+洗涤塔+除雾+活性炭吸附组合工艺对CVD废气进行治理。 CVD废气首先经过Local Scrubber净化系统进行处理,Local Scrubber净化系统与CVD生产系统在智能...
首先,对于CVD废气处理,我们可以使用高效真空泵抽取废气,经过Local Scrubber净化装置进行初步处理,然后进入Central Scrubber进行深度治理。这样可以采用多种净化方式,如冷凝、燃烧、除尘、洗涤、吸收、吸附和静电等,确保废气达标排放。 其次,针对酸性碱性废气以及剥离液废气处理,可以采用冷凝法回收有价值的组分,然后进入集中洗涤...
深圳沃飞科技有限公司是一家从事气体应用系统工程的高新技术企业,专业为客户提供大宗气体系统、电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、高纯化学品供液系统、Local Scrubber尾气处理系统等全套工程技术服务和配套产品的一站系统解决方案,公司于2018年荣获“国家高新技术企业”认定。
CVD废气首先经过Local Scrubber净化系统进行处理,Local Scrubber净化系统与CVD生产系统在智能系统的控制下进行联动,实现对一般有机废气和毒腐气体进行智能切换,CVD废气在经Local Scrubber净化系统处理后,排入中央废气处理系统,与一般有机废气混合在一起进行集中处理后达标排放。整套系统通过多技术...
17、panel and Mainframe Control Tower Box,Gas panel 气体从这里分开到各chamber,Main frame control tower 为机台提供440V和208V电源,56,Remote system,RF Generator,RF Generator,T/C pump,Air tank & Manifold,Local scrubber,P/C pump D,P/C pump A,P/C pump E,Remote AC Power Box,Heat exchanger...
Local scrubber P/C pump B P/C pump D P/C pump A P/C pump E Remote AC Power Box Heat exchanger P/C pump C AC Power Control Tower L/L pump Remote system Heat Exchanger 为Match Box和process chamber供DI Water RF Generator 为Process chamber 提供RF energy Air tank 储存气体给机台的气动...
职位:1)Implant工艺助工2)CVD工艺助工3)PVD工艺助工 分享6赞 半导体设备吧 废气处理专家☜ 离子注入,刻蚀,外延,CVD,PVD等废气处理设备及吸附剂离子注入,刻蚀,外延,CVD,PVD等工艺用废气处理设备(local scrubber)及吸附剂。详情请咨询:深圳市利微成科技有限公司联系电话:13510756136联系人:莫先生 分享回复1 半导体吧...
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