化学气相沉积(CVD) 金刚石薄膜生长机理 报告人:车清论 2012-11-12 一、化学气相沉积(CVD) 二、金刚石的特性和应用 三、金刚石生长机理 (一)金刚石生长理论模型 (二)低压下金刚石生长机理 一、化学气相沉积(CVD) CVD是把含有构成薄膜元素的一种或几种 化合物(Si膜,化合物SiH 4 ;C膜,化合物 CH 4 )、...
金刚石生长机理微波CVD薄膜探讨了微波等离子体CVD法合成金刚石薄膜的生长机理,指出等离子体中CH+3,CH++2,H+的含量是决定薄膜品质的关键因素.doi:JournalArticle/5af1305fc095d718d8df4f71方莉俐中原工学院学报方莉俐. 微波 CVD 法合成金刚石薄膜生长机理分析[J ] . 郑州纺织工学院学报 ,1997 ,8 (增刊) :27 ...
生长机理微波CVD探讨了微波等离子体CVD法合成金刚石薄膜的生长机理,指出等离子体中CH+3,CH++2,H+的含量是决定薄膜品质的关键因素.方莉俐中原工学院中原工学院学报方莉俐. 微波 CVD 法合成金刚石薄膜生长机理分析. 郑州纺织工学院学报 ,1997 ,8 (增刊) :27～30.方莉俐. 微波 CVD 法合成金刚石薄膜生长机理分析[...
本文依据实验数据,提出了 CVD 金刚石薄膜生长机理方面的几点看法.认为甲烷的充分离解不利于金刚石生长,生长金刚石的活性物质主要是活性络合物(H…H…CH_3)~*.doi:CNKI:SUN:RGJT.0.1993-03-003苏堤中南工业大学陈本敬湖南大学王秀琼湖南大学湖南大学苏玉长中南大学材料科学与工程学院杨巧勤湖南大学CNKI人工晶体学报苏堤...
金刚石薄膜,活性基团,络合物,CVD本文依据实验数据,提出了 CVD 金刚石薄膜生长机理方面的几点看法。认为甲烷的充分离解不利于金刚石生长,生长金刚石的活性物质主要是活性络合物(H…H…CH_3)~*。苏堤,陈本敬,王秀琼,苏玉长,杨巧勤VIP人工晶体学报苏堤,陈本敬 ,王秀琼 , 等. CVD 人造金刚石薄膜生长机理探讨[J ] ....