CVD金刚石生产过程始于选择合适的基底,通常是硅或金刚石。基底经过清洁和抛光处理,以确保表面光滑。这一步骤对于后续的金刚石生长至关重要。 接下来,将一种气体混合物引入反应室。最常用的气体是氢气和甲烷。氢气充当载气,而甲烷提供碳源。对气体进行精确控制以达到所需的金刚石性质。 然后,将反应室加热至高温,通常在...
CVD过程始于金刚石种子或基底,它作为合成金刚石生长的模板。基底放置在反应室中,然后充满混合气体。这些气体通常包括含碳气体(如甲烷)和氢气。 接下来,反应室被加热到高温,通常在800-1000摄氏度左右。这个温度是激活将碳原子沉积在基底上的化学反应所必需的。随着气体的加热,它们分解并释放出碳原子。 碳原子然后迁移...