冷凝泵(Cryo Pump)是一种基于低温冷凝和吸附原理实现真空环境的高效设备,广泛应用于半导体制造、液晶生产等精密工业领域。其核心特点包
Cryo Pump压缩机主要由几个关键部分组成:压缩机本体、冷头、冷凝阵列和控制系统。压缩机本体负责压缩氦气,冷头是实现气体冷凝的关键部分,而冷凝阵列则负责在不同的温度下捕获和凝聚气体分子。 在工作时,Cryo Pump压缩机首先通过压缩机本体将氦气压缩到高压状态,通常达到200psi左右。随后,高压氦气被输送到...
CRYO PUMP 原理 CRYOPUMP原理 Ⅰ.CRYOPUMP基本构造Ⅱ.CRYOPUMP原理介绍 ①。MoleculesandTemperature（分子与温度）②。CaptureTheory（捕获理论）③。工作原理描述 1 Ⅰ.CRYOPUMP基本构造 HeliumCompressor UnitInpuCtaPbloewerMountingFlange(CInhtaemrfbaceer)toVacuum Cmrpyopu CHoealdd Cold-HeadPCoawbleer SupplyRLeitnue...
抽气原理在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝:气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上,其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时,冷板温度必...
2低温泵在不同温度的不同地方捕获不同的气体、3一个集成控制模块控制并保持冷凝头必要的温度工作原理:以氦气作为制冷剂,即热量载体。压缩机将氦气压缩至200psi的高压,高压的氦气在冷泵冷头处膨胀吸热,实现冷头的降温,冷头的温度最终降到10K(-263°C)左右来实现对气体的吸附。吸热膨胀后氦气回到压缩机中重新被...
CRYO PUMP 原理 Ⅰ.CRYO PUMP 基本构造 Ⅱ.CRYO PUMP 原理介绍 ①。 Molecules and Temperature(分子与温度) ②。 Capture Theory(捕获理论) ③。工作原理描述 Ⅰ.CRYO PUMP 基本构造 Ⅱ.CRYO PUMP 原理介绍 ⑴Molecules and Temperature(分子与温度) 空气中在不断运动的分子具有的动能, 温度决定他们的平均动能,...
吸热膨胀后氦气回到压缩机中重新被压缩,体积压缩过程中释放的热量被冷却循环水带走。工作原理描述工作原理描述 Control Module H 2 O O 2 ,N 2 ,Ar H 2 ,He,Ne 12KArrays w/Charcoal 6 相关文档 Cryo-Torr High-Vacuum Pump Installation, Operation and Maintenance Instructions Brooks CTI8F Cryo Pump:...
cryo pump 低温冷泵符号cryo pump 低温冷泵符号 低温冷泵符号 低温冷泵是一种用于真空系统中的吸气装置,广泛应用于科学研究、医药制造、半导体工业等领域。为了标识和描述低温冷泵的特性和功能,国际上采用了一套固定的符号体系。这些符号通过图形和文字的组合来表示低温冷泵的类型、工作原理和性能参数。本文将介绍低温...
Cryo Pump Overhaul标准主要针对低温泵的维修和保养,包括泵体、电机、轴承、密封件等关键部件的维修和更换,以及泵的性能测试和验收等方面的内容。该标准适用于各种类型的低温泵,如液氮泵、液氢泵、液氧泵等。 二、标准主要内容 1.范围 Cryo Pump Overhaul标准规定了低温泵的维修和保养要求,包括泵的结构、工作原理、...