ULVAC的水晶振荡式成膜控制器,是基于ULVAC作为设备制造商的丰富的技术和经验开发的。从单层膜到多层膜,可以对应各种成膜工艺。 水晶式成膜控制器 CRTM 系列 CRTM-6000G CRTM-9200 特点 规格 CRTM-6000G水晶振荡式成膜控制器,具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。尺寸紧凑,可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连...
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