公司通过自主研发,实现了8英寸直拉单晶量产,并通过持续改进,研发LowCOP、COPFree单晶技术,并自主设计开发12英寸直拉单晶生长的热场和工艺参数,实现12英寸直拉单晶样品试制,具体情况详见公司2018年3月15日披露的《关于公司半导体材料产业进展情况的公告》(公告编号:2018-20),感谢您的关注! (来自深交所互动易)答复...
从根本上来说,12寸COP-FREE抛光片的难点就在于长晶阶段。所以中欣通过一系列的研究,对长晶炉的热场进行了重新设计,从根本上抑制了COP的产生,从而为COP-FREE硅片的生产打下了坚实的基础。 诚然,一片完美的12寸晶圆片除了需要抑制COP以外,也同样需要满足各类其他的参数要求,中欣晶圆通过一系列的技术手段和先进的生产...