cmp是什么意思 cmp工艺原理 1. CMP:晶圆平坦化的关键工艺 1.1. CMP 工艺是晶圆全局平坦化的关键工艺 晶圆制造流程可以广义地分为晶圆前道和后道 2 个环节,其中前道工艺在晶圆厂中进行,主要负责晶圆的加工制造,后道工艺在封测厂中进行,主要负责芯片的封装测试,其中,化学机械抛光(CMP)是实现晶圆全局平坦化的关键工...
CMP工艺的原理可以简单地概括为:在一定的压力下,通过在材料表面施加化学和机械作用,使材料表面达到平坦化的效果。 1. 机械作用:CMP工艺中最重要的机械作用是研磨。研磨是通过在材料表面施加力,并使用研磨颗粒来去除表面的不平坦部分。研磨颗粒可以是硅胶、氧化铝等,其硬度较高,能够有效地研磨材料表面。 2. 化学作用...
CMP工艺的原理主要基于材料的化学反应和机械研磨。在CMP过程中,需要使用一种腐蚀剂和磨料,分别称为化学机械研磨液和抛光液。这两种液体通过机械力和化学反应共同作用,实现对材料表面的平整化。 1. 机械研磨 机械研磨是CMP工艺的核心步骤之一。它通过在材料表面施加机械力,利用磨料的颗粒与材料表面发生摩擦,从而去除不平...
CMP抛光工艺是一种全局平坦化技术,通过化学反应和物理研磨的协同作用,实现微观全局平坦化。在CMP过程中,抛光垫上的磨粒与工件表面发生机械研磨,同时化学腐蚀剂与工件表面发生化学反应,从而实现对工件表面的平坦化加工。 二、CMP抛光工艺的具体流程 抛光垫的准备:选择合适的抛光垫,确保其表面平整、无污染物,并进行必要的...
cmp工艺原理 #芯片制造 #半导体 - Tom聊芯片智造于20250113发布在抖音,已经收获了28.5万个喜欢,来抖音,记录美好生活!
为了解乌龙茶的制作工艺和原理,某兴趣小组上网查找资料得知:①茶树的叶肉细胞内含有一种叫作茶多酚的植物碱,可以在茶多酚氧化酶的催化作用下发生氧化反应,氧化的茶多酚使茶叶变红。 ②乌龙茶的制作工艺:萎凋→做青→炒青→揉捻→干燥。最关键的步骤是做青,将萎凋后的茶叶置于摇青机中摇动,叶片...
絮凝是一种基本过程,用于促进液体或溶液中的小颗粒聚集形成更大的团簇,称为絮凝物。 该过程通常通过添加称为絮凝剂的专用化学品来实现,絮凝剂可促进颗粒结块,并有助于颗粒的碰撞与附着。絮凝在许多行业与自然系统中非常重要,可实现固体与液体的分离以及水和其他液体的纯化。 快速链接 凝结与絮凝过程 行业应用...