这是因为Al薄膜通常为多晶,杂质在晶界的扩散系数远大于在晶粒内的扩散系数。 2. Al/Si接触中的尖楔现象 由于硅在铝中的溶解度较大,Si在Al膜的晶粒间界中快速扩散离开接触孔的同时,Al也会向接触内运动、填充因Si离开而留下的空间。如果... 查看原文...