此外，CMOS工艺还具有高集成度、低功耗等优点，这些特点使得它在许多领域得到了广泛的应用。而MEMS工艺则侧重于微小尺寸元件的制造，可以实现高精度、高灵敏度等性能。总的来说，IC工艺、CMOS工艺和MEMS工艺之间既有区别又有联系。它们各自具备独特的技术特点和应用领域，但随着技术的发展，集成的可能性也越...
ic即intergarted circuit,集成电路,统称.所以ic工艺即是制造集成电路的工艺,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺(cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos),另外还有集成了cmos和bipolar的bi-cmos工艺等等. 而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领...
ic即intergarted circuit,集成电路,统称.所以ic工艺即是制造集成电路的工艺,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺(cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos),另外还有集成了cmos和bipolar的bi-cmos工艺等等.而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域...
ic即intergarted circuit,集成电路,统称.所以ic工艺即是制造集成电路的工艺,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺(cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos),另外还有集成了cmos和bipolar的bi-cmos工艺等等.而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域...
cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos）,另外还有集成了cmos和bipolar的bi－cmos工艺等等.而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的工艺上来.对mems不是特别的了）