Hitachi CG4000是一款临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM).它专为超精细半导体器件而设计. 以下是一些主要规格和功能: 分辨率:1.8nm(加速电压:800V) 重复性:±1% 或 0.3 nm (3 sigma)(采用日立标准晶圆) 晶圆尺寸:300mm(200mm) 产量:36 片晶圆/小时(晶圆上有 20 个测量点) ...
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