校准可通过坐标系线性变换,其数学表达式如下如下所示: 式中,dx、dy为实际位置与理想位置的偏差;x和y为标记的工件台位置;A、E代表移位参数;B、F代表增益参数;C、G代表旋转参数。为了求解这6个系数,需要在扫描场中设置3个标记,如图3所示。图形发生器控制SEM扫描这3个标记,得到实际的位置坐标。软件系统获取这些坐标...
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