临界尺寸SEM（CD-SEM：临界尺寸扫描电子显微镜）是一种专用系统，用于测量在半导体 晶片上形成的精细图案的尺寸。CD-SEM主要用于半导体电子设备的生产线。与通用SEM不同的三个主要CD-SEM功能：照射到样品的CD-SEM一次电子束具有1keV或更低的低能量。 降低 CD-SEM电子束的能量可以减少由于充电或电子束辐照而对样品...
1.电子束的能量差异 CD-SEM照射样品的一次电子束能量较低,为1keV或以下。这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱,降低CD-SEM电子束的能量可以减少电子束照射对样品的损伤,这样有利于晶圆进行下一步工序。 2.量测精度的差异 CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备...
型号 CD-SEM 规格 CD 加工定制 是 新旧程度 二手 技术方案 是 是否现货 是 用途 晶圆测量 适用晶圆尺寸 200nm,300nm 测量范围 50nm~2µm 重复性 ±1%或2nm 晶圆吞吐量 24/h 放大倍数 1000 ~ 300kx 加速电压 300~1600V 主机尺寸 1200*2007*1900mm 显示装置 600*1496*1850mm 品牌 ...
🛠️ 临界尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是一种专门用于测量半导体晶片上精细图案尺寸的系统。它在半导体电子设备生产线中发挥着重要作用。🔍 与通用扫描电子显微镜(SEM)相比,CD-SEM具有以下三个主要特点: 1️⃣ 照射到样品的电子束能量较低,通常为1keV或更低,以减少对样品的损坏。 2️⃣ 通过最大化放大...
CD-SEM是特征尺寸测量用扫描高分辨率的电子显微镜，主要是用来测量光刻胶图形的尺寸。国内首台8 英寸CD-SEM，是东方晶源生产的8 英寸关键尺寸量测设备，型号是“SEpA-c300”。这款产品，是基于东方晶源 12 英寸CD-SEM的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺，也是生产出8英寸晶圆的必备机器之一。它的作用和...
日立Hitachi 适用6/8英寸晶圆 CD-SEM 电子显微镜 S-8820 价格 ￥359.18万 起订量 1件起批 货源所属商家已经过真实性核验 发货地 山东 青岛 所属类目 机械设备;行业专用设备;其他行业专用设备 产品标签 日立Hitachi电镜;日立CD;SEM;CD;SEMS;8820;日立电镜S;8820 获取底价 查看电话 在线咨询 青岛佳鼎分析...
2024年6月14日,惠然微电子顺利出机全自主研发的首台半导体关键尺寸量测设备(Critical Dimension Scanning Electron Microscope, 简称CD-SEM),标志着公司在半导体量检测领域取得了阶段性突破,为半导体量检测设备的国产化注入了新的活力。 芯片制造需要上千道工序,其中光刻机、刻蚀机、薄膜沉积和量检测设备是半导体晶圆制...
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本申请公开了一种晶圆的CDSEM测量方法、装置及半导体器件,方法包括:步骤S1在当前晶圆上从所有位置点中进行位置点采样,利用CDSEM测量采样位置点的CD值,将采样位置点添加到抽样序列中;步骤S2在下一张晶圆上从除抽样序列中记录的位置点之外的其他位置点中进行位置点采样,并利用CDSEM测量采样位置点的CD值,将采样位置点...