CCD是一种高性能光电图像传感器件,由若干个电荷耦合单元组成,基本单元是MOS(金属-氧化物-半导体)电容器结构。 以P型或N型半导体为衬底。在半导体表面覆盖一层厚120nm的SiO2层。SiO2表面依一定次序沉积一层金属电极,构成MOS电容式转移器件,通常称一个MOS结构为一个光敏元或一个像素。 根据不同应用要求,将MOS阵列加...