Homoepitaxial growth of 4H-SiC epilayer by hot-wall chemical vapor deposition using bis-trimethylsilylmethane (BTMSM, C_7H_(20)Si_2) precursor was investigated. The growth rate of 4H-SiC was investigated as a function of the growth temperature and source flow rate. The FWHM values of ...
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The deposition was performed as a function of O<SUB>2</SUB>/BTMSM flow rate ratio with a total of 20 sccm. Thereafter, the annealing process was performed at 300°C, 400°C and 500°C in a vacuum. The characteristic analyses of organosilicate films were performed by scanning electron ...
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