工艺流程: 1. 基础刻蚀阶段(Bosch I阶段): Bosch刻蚀工艺的第一个阶段是基础刻蚀阶段,也称为Bosch I阶段。在这个阶段中,使用一种常见的刻蚀气体(例如SF6)和反应气体(例如C4F8)的混合物进行刻蚀。刻蚀气体和反应气体通过离子束激发,形成刻蚀反应。 2. 侧壁保护阶段: 在基础刻蚀阶段之后,需要进行侧壁保护,以保护...
本实施例中的bosch工艺的工艺参数的监控方法s100,其通过设定子配方中的各工艺步骤的采样点,并分别获取相同工艺步骤在不同循环次数时执行到采样点时的变化量参数实际值,并将该变化量参数实际值与变化量参数设定值进行容差比较,得到采样点的合法性,从而可以根据合法性判断是否需要输出容差报警。本实施例中的bosch工艺的工艺...