公司研发生产集成电路工艺设备、太阳能电池制造设备、气体质量流量控制器、真空热处理设备、锂离子电池制造设备等系列产品,广泛应用于半导体、光伏、电力电子、TFT-LCD、LED、MEMS、锂电等多个新兴行业。公司也生产高精密电子元器件方面,公司研发生产电阻、电容、晶体器件、微波组件、模块电源、混合集成电路等高精密电子元...
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北京北方华创微电子装备有限公司共有3068项专利 一种工艺参数监控方法及上位机技术本申请提供了一种工艺参数监控方法及上位机,该方法通过获取索引对象的当前值,索引对象的当前值用于表征当前工艺步骤对应的工艺配方,是在半导体工艺设备的目标工艺腔室进入当前工艺步骤时更新至索引对象的,并基于索引对象的当前值确定当前待监...
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