型号 AX7710MKS-01 产品简介:MKS为迅速发展的中国半导体、太阳能电池、LED和真空工业提供的产品和技术服务。MKS 是的 进生产工艺控制设备供应商之一,其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发,推动其产品...
The Paragon AX7710MKS-01 Remote Plasma Source is designed for high gas dissociation rates (>98%) of NF3 with gas flows up to 8 slm and pressures up to 10 Torr. Building on the production-proven attributes of the MKS low-field toroidal plasma source, the Paragon® remote plasma source ...
MKS AX7710SM-01 是一款远程等离子源(Remote Plasma Source, RPS),主要用于半导体制造、平板显示制造和其他高精度工业领域。以下是其主要应用领域和特点: 主要应用领域 半导体制造 用于晶圆清洗、刻蚀和薄膜沉积工艺,去除光刻胶和残留物。 在先进封装技术中,用于表面处理和清洁。 平板显示制造 用于LCD 和 OLED 面板制...
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