令人遗憾的是在2023年9月,荷兰相关部门也发布了半导体禁令,需要获得许可,方能对2000i型DUV光刻系统及2000i型以后设备进行出口。不过还好,ASML老款的1970i型和1980i型DUV浸润式光刻设备不在限制范围内,这两款光刻机无需许可就可以卖到我国。虽然1970i型和1980i型是ASML十多年前的老款光刻机,但这种光刻机...
当然更让ASML寒心的是它积极支持美国,然而美国芯片行业却在试图绕开它的EUV光刻机,美光已研发成功无需EUV光刻机1β工艺;近期Intel也传出正重新研发DSA工艺绕开EUV光刻机。EUV光刻机是ASML的利润大头,美国芯片企业不要,三星和台积电又在减少采购,先进的EUV光刻机不许卖给中国,DUV光刻机也限制,这让ASML吃啥?
The TWINSCAN NXT:2000i is a high-productivity, dual-stage immersion lithography tool designed for volume production of 300 mm wafers at advanced nodes. The system is equipped with an in-line catadioptric lens design, with a numerical aperture (NA) of 1.35 – the highest in the industry. This...
对此,ASML表示,已经向荷兰政府提出申请,以获得TWINSCAN NXT: 2000i及后续推出的漫润式光刻系统的出口许,并获得批准,2023年年内将可以继续向中国出口DUV光刻机中的先进型号。ASML的DUV光刻机一共有4款,分别是2100i、2050i、2000i和1980Di,其中1980Di是最老的,之前是没有限制的,我们可以无限购买。那么对于...
而要实现7nm芯片的大规模量产,ASML公司的DUV深紫外光刻机则显得尤为关键。目前,市面上能够满足这一需求的DUV光刻机型号主要包括1980Di、2000i、2050i以及最先进的2100i。1980Di型号的DUV光刻机,在系统中融入了创新的气体寿命延长技术,有效减少了机器的非工作时间。同时,它还强化了成熟的6kHz ArF激光技术,确保...
美方的这一打压再次限制了中企获得中高端DUV光刻机的渠道,这对我国14nm芯片的量产产生了极大的负面影响。第三打压是美方中止了ASML在2024年的光刻机许可,这让ASML非常恼火。在2023年9月份的时候荷兰相关部门制定了2000i型及2000i型以后光刻机出口管制,但ASML为了中企的订单向荷兰相关部门申请了出口许可。在出口...
根据公开信息,ASML公司的DUV光刻机设备一共有4款,而2000i就是用于生产14nm的设备,另外的三款分别是2050i、1980Di以及1970Ci。其中,2050i可以用于生产7nm芯片,也是被禁止供应的,1980Di和1970Ci则能够用于生产28nm和40nm芯片,唯独这两款DUV光刻机的供应不受限制。很显然,ASML公司相当于彻底摊牌了,用于生产...
而到了今年的9月上旬,荷兰有关部门再次颁布半导体设备出口管制,这份出口管制增加了1970i型、1980i型两款DUV浸润式光刻系统。也就是说,ASML需要售卖1970i型和1980i型光刻机也需要获得许可证才能出售。 从2000i型及2000i型以后的DUV浸润式光刻机限制出售,再到1970i型、1980i型光刻机限制出售,荷兰相关部门对光刻...
首先,美多次修改规则,目的就是限制ASML出货主流的DUV光刻机,甚至还拿出了三方协议,荷兰也公开表示,将配合美进行相关半导体产品的出口管制。结果ASML还是获得许可,继续出货2000i等型号的光刻机。美再次要求荷兰对主流光刻机进行管制后,ASML却表示要向美澄清出口规则。这意味着ASML将坚持向国内出货主流的2000i等...
早在2019年美国就要求ASML不得对华出售先进的EUV光刻机,当时中国一家芯片企业已支付1.2亿美元,至今这台EUV光刻机都未运送给中国芯片企业;2020年后美国进一步采取措施,尤其是2022年下半年,美国要求ASML不能对华出售14纳米以下的DUV光刻机。ASML都只能无奈遵从,这也导致ASML从中国市场获得的收入占比迅速从三分...