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据相关媒体 报道 ,ASML透露其一台High-NA EUV光刻机的价格大概为3.8亿美元,是现有EUV光刻机(约1.83亿美元)的两倍多。目前ASML已从英特尔和SK海力士等公司获得了High-NA EUV光刻机的订单,数量在10至20台之间。与此同时,ASML计划到2028年,每年生产20台High-NA EUV光刻机,以满足市场的需求。