另外,Pulsar也可应用于铁电RAM及磁头制造中高K氧化铝的量产过程中。 ASM预计Pulsar高K ALD系统需求量将会明显增长,公司将计划将Arizona工厂的Pulsar产能提高50%。 ASM公司的此套设备具有出色的重复性,完全可以满足先进45nm及32nm节点高K栅堆叠应用中特殊薄膜的量产需求,栅漏电流、沟道载流子迁移率、可靠性及良率等方面...
1. 发展历程与市场地位 早期发展:ASM成立于1968年,最初专注于CVD技术,后通过多次收购成为全球领先的ALD和碳化硅外延设备供应商。 ALD设备:1990年代开始专注于ALD设备的研发,1994年和2004年分别收购ASM Microchemistry和ASM Genitech Korea,2007年Pulsar ALD设备成为全球首个用于大规模生产铪基High-K介电材料器件的系统,...
ASM原子层沉积产品PULSAR®XPALDEmerALDXPALD等离子体原子层沉积三,ASM其他产品低压化学气相淀积产品低压化学气相扩散产品DragonXP8EagleXP8PEALD德国ASM致力于开发,生产和销售在工业应用中使用的机电传感器,其他业务领域是的出售传感器和测量技术的产品。 由于ASM积累了几十年丰富的知识,已经达到了测量领域的主导作用,并...
annel Pl ASM PN: 16-007110B20 E3000 Wafer Transfer Module Sh ASM PN: 60-106222A52 Seal-Lip-1.06 ID x 1.31 OD Zur ASM PN: D003262A Clamp-Pulsar 2000 ASM PN: 16-007110B19 E3000 Front End Interface ShipBird 800-2 2.5W 800-950 MHz Wattmeter Slug/Element 43+ Qualiflow F Series Pneuma...
ASM Epsilon 3000 P8300 E3000 Polygon EPI Reactor 300mm Aeroflex STI-1000 Satellite Payload Test System 40 GHz? ASM Pulsar 2000 ALCVD Atomic Layer CVD Reactor 200mm MicroAssembly MAT 6400 Automatic Die Attach System Lambda Technologies MicroCure VFM 2100 Microwave Oven ...
ASM Epsilon 3000 P8300 E3000 Polygon EPI Reactor 300mm Aeroflex STI-1000 Satellite Payload Test System 40 GHz? ASM Pulsar 2000 ALCVD Atomic Layer CVD Reactor 200mm MicroAssembly MAT 6400 Automatic Die Attach System Lambda Technologies MicroCure VFM 2100 Microwave Oven ...