近日,京创先进基于TAIKO晶圆减薄工艺推出的晶圆环切设备——AR9000RR,已经成功进入小批量生产阶段。 TAIKO工艺和以往的背面研削不同,在对晶圆进行研削时,只对晶圆内进行研削,保留晶片外围的边缘部分(约3mm);晶圆利用该部分进行支撑,以实现降低薄型晶片的搬运风险和减少晶圆翘曲的目的。京创AR9000RR环切设备,可实现...
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