随着Ar/H2比例的进一步增加,单晶金刚石的结晶质量会有所下降,Ar/H2比例过高则会严重破坏单晶金刚石的生长。doi:CNKI:SUN:RGJT.0.2015-02-009林晓棋武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室满卫东武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室吕继磊武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室张玮...