01氮化铝(AlN)作为一种重要的陶瓷材料,在微电子、光电子和MEMS等领域具有广泛应用。02单晶AlN薄膜具有优异的力学、热学和电学性能,是制备高性能器件的理想材料。03干法刻蚀和湿法腐蚀是单晶AlN薄膜加工的关键技术,对于实现高精度、高效率的加工具有重要意义。研究背景和意义 ...