ステージ面 60mm×60mm 使用モータ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 分解能 0.002mm 送りねじリード 1mm 移動ガイド HG-VCR(V溝とクロスローラ) 移動精度HV 真直度(水平?垂直)0.002mm 移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec 位置決め精度 0.01mm 繰り返し精度 ±0.0003m...