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功能 原子层沉积(ALD)设备 主要产品 原子层沉积 产品范围 应用于微电子/食品包装/光电/催化剂/储能技术/航天器材 应用领域 半导体、显示器、太阳能电池、LED、MEMS、光学、生物、纳米及柔性器件 产地 韩国 应用设备 涵盖纳米薄膜与粉体等多种制备设备 原子层沉积系统 气体前驱在表面的依次反应的有效薄膜沉积...
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