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1.透过循环数的控制,可以精确地控制薄膜的厚度(图1)。 2.由于表面饱和的机制,因此不需要控制前驱物流量的均一性(图2)。 3.可生成高圴匀性薄膜(图3)。 4.杰出的高深宽比的阶梯覆盖能力(图4)。 图1ALD工作原理 图2原子层沉积技术优势 图3匀性薄膜 ...
3.根据权利要求1所述的一种基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法,其特征在于:所述步骤S3中通入的惰性气体为氮气,并且在通入氮气所使用的设备上安装有节流阀,其中,节流阀的开口率控制在30%-60%。 4.根据权利要求1所述的一种基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法,其特征在于:所述医疗器械...
175㎡户型B | 建面:175㎡ | 朝向:南北 所属楼栋 7栋6栋 所属楼盘 中国铁建·花语堂 约15142.85元/平方米算月供 实际价格以售楼处为准,户型图为开发商提供,具体以实际交房标准为准 9.4 户型评分 基础测评 10 空间测评 9.1 采光通风 8.8 户型信息 128.99㎡ 套内面积 175㎡ 建筑面积 - 46.01㎡ 公摊面积 73...
歌曲:Curve-175-bpm,歌手:BeatRunning。Curve-175-bpm在线免费试听,更多BeatRunning相关歌曲,尽在QQ音乐!QQ音乐是腾讯公司推出的一款网络音乐服务产品,海量音乐在线试听、新歌热歌在线首发、歌词翻译、手机铃声下载、高品质无损音乐试听、海量无损曲库、正版音乐下载
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在本发明的方面中,嵌入式金属-绝缘体-金属(MIM)电容器包括TaAlC共形ALD层。例如,图1示出了根据本发明实施例的示例性MIM电容器的截面图。器件100可以包括衬底102、第一电介质层104、铜布线106、第二电介质层108以及MIM电容器110,所述MIM电容器110包括底部电极112、绝缘体层114以及顶部电极116。 在实施例中,衬底102...
本文简要介绍了ALD技术的原理、沉积周期、特征、优势、化学吸附自限制ALD技术及ALD本身作为一种技术的发展状况(T-ALD,PE-ALD和EC-ALD等);重点叙述了ALD技术在半导体领域(高k材料、IC互连技术等)应用。最后,对ALD未来的发展应用前景进行了展望。 关键字:原子层沉积;薄膜沉淀;高K材料;铜互连 The Develpoement and...
医生告诉你宝宝有125度和175度散光吗? 是机器做的 直接打出来的 医生看了说走散光的 我们是去给孩子做体检 像这种情况有什么办法 散光是和发育有关系的,随诊年龄增长,有变化,但不会特别大,如果不影响视力发育,将来这个度数不一定需要配镜,如果对视力影响大需要配镜 她才这么点大又不会说 现在不要太担心,小...