微光夜视装备的核心是微光像增强器。微光像增强器能将微弱光照射下的景物转换为可见光图像，达到人眼能够进行远距离观察的程度。微光像增强器一般由光电阴极、微通道板和荧光屏组成。其中微通道板是实现信号放大的关键部件。ALD-MCP是一种新型微通道板，能满足传统微通道板不能实现的使用要求和性能。中科原子ALD-MCP ...
本发明提供一种高增益,低发光ALDMCP及其制备方法与应用.高增益,低发光ALDMCP的制备方法,包括将MCP基底置于臭氧环境下进行预设时间周期的预处理;以及预处理完成后,在MCP基底上原位制备MgO/AlO复合膜层,其中先制备MgO膜层,再制备AlO膜层.本发明首先使用臭氧对MCP基底进行处理,减少MCP基底中的氧空位等缺陷;然后采用ALD...
为了解决mcp在高增益工作条件下的发光问题,本发明在传统mcp基底的基础上,首先对mcp基底置于臭氧环境下,例如在ald设备的反应腔内进行预处理,在此基础上,利用ald技术在通道内壁表面制作具有高二次电子发射系数的低缺陷、高质量复合膜层,从而降低整体mcp的发光比例。 [0035] 结合图2-5,在具体的示例性实施例中,首先使用...
我,微通道板,英文名字是MCP,中日混血,出生在日本滨松光子学株式会社的电子管事业部产线上,以后要长期混迹于中国各大质谱厂商中,帮助各位检测电子、离子、高能粒子、中子、紫外线、X射线等各种粒子和能量较高的电磁波。 我家里兄弟姐妹众多,我排最末,是个老幺儿,上面有我大哥方形MCP,我二姐中间带通孔的MCP,以及...
1.一种利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法,其特征在于,包括以下步骤: 微通道板的功能层基础上,在利用ALD技术沉积Al 2 O 3 膜层前,先制作预处理层来实现Al 2 O 3 膜层与MCP基底富硅层之间的过渡;然后在预处理层的基础上,通过ALD技术沉积Al 2 O 3 膜层。 2.根据权利要求1所述的利用ALD提高MCP通道...
本发明涉及MCP技术领域,提供一种利用 ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、 ALD‑MCP及应用。本发明在微通道板的功能层基础 上,利用ALD技术沉积Al 法律状态 法律状态公告日法律状态信息法律状态 2020-08-07公开公开 权利要求说明书 利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用的权利要求说明书内容 ...
利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用 (57)摘要 本发明涉及MCP技术领域,提供一种利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD‑MCP及应用。本发明在微通道板的功能层基础上,利用ALD技术沉积Al 法律状态 法律状态公告日 法律状态信息 法律状态 2020-08-07 公开 公开 权利要求说明书 利用ALD提高...
利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用专利信息由爱企查专利频道提供,利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用说明:本发明涉及MCP技术领域,提供一种利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD‑MCP...专利查询请上爱企查
ALD 除了常规的半导体高K 材料,太阳能等领域,军事上的用途:MCP, 热和快中子探测等领域。 应用范围会越来越广,只是,沉积速率,成本和价格的问题,在制约推广。 如果说严重不足应该是源的问题,不像CVD的源那样广 有了合适的源,ALD才能更好的发挥作用。
专利名称：利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用 专利类型：发明专利 发明人：邱祥彪,孙建宁,张正君,丛晓庆,司曙光,任玲,王兴超,李婧雯,乔芳建,王鹏飞 申请号：CN202010388763.3 申请日：20200509 公开号：CN111501018A 公开日：20200807 专利内容由知识产权出版社提供 摘要：本发明涉及MCP技术领域...