原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)可以对样品表面形态、纳米结构、链构象等方面进行研究,获得纳米颗粒尺寸,孔径,材料表面粗糙度,材料表面缺陷等信息,结合仪器的各种操作模式以及独有的附件,可在进行高分辨成像的同时,获得包括样品力学...
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本团队独立研发的原子力显微镜（AFM）探针，旨在取代进口产品。研发团队通过改进硅基底的各向异性腐蚀技术，优化了氧化硅掩模的设计，实现了硅纳米针尖的自锐化效果，生产出符合商业标准的较大高宽比AFM探针。产品优势：制备方法简单可靠，主要工艺与传统MEMS工艺完全兼容，易于规模化生产；针尖曲率半径≤10nm；工艺产率（6...
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探针的重要组成部分为:针尖、悬臂、基底(图1),AFM检测的是非常微小的范德华力,探针决定AFM灵敏度的核心,所以对探针材料有非常高的要求,探针材料一般是单晶硅或氮化硅(Si3N4),部分可能有其他涂层(金或铝等),背面涂层有助于提高悬臂反射,改善对反射激光束的检测效率,其次,涂层能赋予探针铁磁性或者电学性质,用于磁学...