ABM光刻机高精度紫外光刻机,ABM光刻机高精度双面紫外光刻机(手动/全自动对准)双面对准光学系统曝光时间调解器:0.1至999.9秒(可调节精度0.1s);365-400nm光强传感及电源供应控制电路及反馈闭环;声控功率警报装置可防止系统功率超过设定指标;