接下来,我们来看6H-SiC结构。6H-SiC也是一种晶体结构,同样属于闪锌矿型结构。其晶胞中包含了6个硅原子和6个碳原子,也是由六边形环相互连接而成。不同于4H-SiC,6H-SiC的晶体结构中,每个硅原子和碳原子的环是相互交替排列的。其晶体结构中每个碳原子都有一个和上面一个碳原子相连接的硅原子,也有一个和下面两个...
百度试题 题目a -SiC、B -SiC、6H-SiC、15R-SiC 在晶体结构上的差异, 列举几种 SiC 的合成方法及反应式 相关知识点: 试题来源: 解析 答:表 1-26 二氧化硅碳热还原法: SiO2+3C=SiC+2CO 气相沉积法: 反馈 收藏
碳化硅需要外延的原因有五个方面:1、材料特性:碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同,不能直接制作在碳化硅单晶材料上,必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料,并在外延层上制造各类器件。2、提高材料质量:碳化硅衬底在生长过程中可能存在各种缺陷,如晶界、位错、杂质等。这些缺陷会严重影响器件的性能和可...