晶体结构不同、应用领域不同。1、晶体结构不同:3C-SiC是立方晶体结构,4H-SiC是四方晶体结构,6H-SiC是六方晶体结构。2、应用领域不同:3C-SiC可以应用于磨料、半导体材料、高温半导体材料等领域;4H-SiC可以应用于高温、高频、大功率电子器件等领域;6H-SiC可以应用于高温、高功率以及高频器件等领域。
从下表参数看,4H SiC本征载流子浓度和电子迁移率都比6H SiC高很多。更高的电子迁移率un,可以得到更...
4H-SiC圆晶是一种透光率较高的晶片。为避免闪光法测试中脉冲光穿透被测样品无法有效加热样品以及红外探测器无法准确测量样品背面温升,需要对样品的前后表面进行处理,一般是喷涂热解石墨层或沉积金属层,以起到遮光和吸热作用。对于高导热材料的闪光法测量,测试误差的一个主要来源就是样品表面涂层。考核高导热系数闪光...
相比之下,4H-SiC和6H-SiC具有较为稳定的结构。在参数对比中,4H-SiC的本征载流子浓度和电子迁移率远高于6H-SiC。更高的电子迁移率意味着更高的电流密度或更低的导通电阻,使得4H-SiC在功率半导体应用中具有优势,尤其是在开关速度方面,4H VDMOS的电压上升时间更短,开关速度更快。英飞凌作为SiC领域的...
6H是SiC晶型的一种,还有4H,3C等其它晶型
SiC单晶 (6H-SiC,4H-SiC ) 联系我们附件下载 技术参数 主要性能参数 生长方法 籽晶升华法 ,PVT(物理气相传输) 晶体结构 六方 晶格常数 a=3.08 Å c=15.08 Å 方向 <0001>或 <0001>偏4 º 带隙 2.93 eV (间接) 硬度 9.2(mohs) 热传导@300K...
4h-sic结构4h-sic结构 4H-SiC即4H类型的碳化硅晶体结构,是一种化学元素组成为硅和碳的晶体结构。在这种结构中,硅原子和碳原子以四面体堆积的方式排列,形成四面体网格结构。这种结构具有良好的热导率、机械性能和化学稳定性,因此被广泛应用于电子、光电子等领域。
SiC晶圆的晶型硅化碳(Silicon Carbide,SiC)晶圆通常是单晶的,但是这些单晶SiC晶圆可能由不同的多晶形体构成,SiC的多晶形体包括3C-SiC、4H-SiC、6H-SiC等,每种多晶形都有自己独特的性质。 3C,4H,6H代表什么?SiC的晶体结构是由硅(Si)和碳(C)的原子以特定的方式排列形成的,而这种特定的排列方式就决定了SiC的晶...
报告指出,当前8英寸4H-SiC晶体制备难点主要涉及高质量8英寸4H-SiC籽晶制备;大尺寸温度场不均匀和成核过程控制;大尺寸晶体生长体系下气相物质组分输运效率和演变规律;大尺寸热应力增大导致的晶体开裂和缺陷增殖。 在8英寸籽晶制备方面,为兼顾晶体质量及扩径尺寸,研究设计了合适的温场、流场及扩径装配;以6英寸的碳化硅...
在不同栅结构的4H-SiC MESFET器件中,具有代表性的有双凹栅MESFET和阶梯栅MESFET。双凹栅MESFET的结构剖面图如图3所示。 从图3中可以看出,双凹栅结构和阶梯栅结构4H-SiC MESFET的区别为下栅部分,双凹栅4H-SiC MESFET的下栅部分为具有长度为W的长方形栅,而阶梯栅的下栅部分为阶梯状的栅。 3.1.1 双凹栅和阶梯栅...