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产品功能 :1、载物台可以沿 X Y 方向运动,探测器与光管可以沿 Z 方向运动,速度可分慢速、中速、快速。2、图像探测器可左右各 45°倾斜,以独特的视角观察样品缺陷且对样品无干扰。3、光管使用寿命长4、可以检测低于 2.5 微米的缺陷,检测重复精度高5、可编辑的检测程序,实现 CNC 自动化检测6、检测空间大,可容...