A-UHP 型(超高纯度) B-HP型(高纯度) 材料条件,一般 SEMI F20 定义了 316L 不锈钢的冶金清洁度要求和材料成分,用于制造通用、高纯度和超高纯度化学(气体或液体)分配系统的组件。 它定义了 ASTM A 276 规定的 316L 不锈钢棒材、锻件和挤压型材、ASTM A 240 规定的板材以及 ASTM A 269 和 ASTM A 632 规定的...
因此,SEMI F20严格规定了不锈钢化学成分和冶金清洁度对应的检测执行标准,如下表所示: 1.棒材,锻件,挤压材料,板料或管状的配料等原材料化学成分要求: 2. 316L GP级不锈钢化学成分要求: 3. 316L HP和UHP级不锈钢化学成分要求: 备注:#可以通过供应商和客户协商确定一个较高的铜含量。 Si、P、Ni、Cr、Ni、Mo、N...
Figure A2-2 Weldability: Effect of Copper Content and Shield Gas on Weld Electrodes 9 SEMI F20-0706 ? SEMI 1995, 2006 APPENDIX 3 EFFECTS OF GRAIN SIZE ON UHP COMPONENT PROPERTIES NOTICE: The material in this appendix is an official part of SEMI F20 and was approved by full letter ballot ...
A-UHP 型(超高纯度) B-HP型(高纯度) 材料条件,一般 SEMI F20 定义了 316L 不锈钢的冶金清洁度要求和材料成分,用于制造通用、高纯度和超高纯度化学(气体或液体)分配系统的组件。 它定义了 ASTM A 276 规定的 316L 不锈钢棒材、锻件和挤压型材、ASTM A 240 规定的板材以及 ASTM A 269 和 ASTM A 632 规定的...
A-UHP 型(超高纯度) B-HP型(高纯度) 材料条件,一般 SEMI F20 定义了 316L 不锈钢的冶金清洁度要求和材料成分,用于制造通用、高纯度和超高纯度化学(气体或液体)分配系统的组件。 它定义了 ASTM A 276 规定的 316L 不锈钢棒材、锻件和挤压型材、ASTM A 240 规定的板材以及 ASTM A 269 和 ASTM A 632 规定的...
超高纯度(UHP)等级:用于半导体制造设施中先进化学分配系统的组件,这些系统需要在关键工艺化学品中实现最佳的耐腐蚀性和抗污染能力。 二、化学成分及冶金清洁度要求 工艺原材料须满足纯度要求保证杂质含量达到制程规范,工艺设备同样要满足半导体行业洁净标准。因此,SEMI F20严格规定了不锈钢化学成分和冶金清洁度对应的检测执行...