西安交大王宏兴教授研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,历经10年潜心研发,独立自主开发了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底,并成功实现批量化(图1)。通过对成膜均匀性、温场、流场及工艺参数的有效调控,实现了衬底表面台阶流...
自支撑衬底实现量产 近日，西安交大研究团队采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术，成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化。团队通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控，提高了异质外延单晶金刚石成品率。新一代碱基编辑技术 开发方面取得重大突破 中国科学院天津工业生物技术研究所研究员毕昌昊带领的...
西安交大王宏兴教授研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,历经10年潜心研发,独立自主开发了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底,并成功实现批量化。通过对成膜均匀性、温场、流场及工艺参数的有效调控,实现了衬底表面台阶流(step-flow)生长模式,提高了异质外延单晶金刚石成品率与晶体质量。O西安交大“2英寸...
西安交大王宏兴教授研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,历经10年潜心研发,独立自主开发了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底,并成功实现批量化(图1)。通过对成膜均匀性、温场、流场及工艺参数的有效调控,实现了衬底表面台阶流(step-flow)生长模式,提高了异质外延单晶金刚石成品率与晶体质量。XRD(004)、...
西安交大王宏兴教授研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,历经10年潜心研发,独立自主开发了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底,并成功实现批量化。
西安交大王宏兴教授研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,历经10年潜心研发,独立自主开发了2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底,并成功实现批量化(图1)。通过对成膜均匀性、温场、流场及工艺参数的有效调控,实现了衬底表面台阶流(step-flow)生长模式,提高了异质外延单晶金刚石成品率与晶体质量。XRD(004)、...
近日,由西安交通大学王宏兴教授领衔的创业团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得了重大进展和突破。该团队采用一种基于微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术实现了2英寸异质外延单晶金刚石衬底的量产,这一创新成果标志着我国在超硬材料领域的研究已达到国际领先水平,将为相关产业的发展提供强大的技术支持。
近日,西安交大研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化。 该团队通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控,提高了异质外延单晶金刚石成品率。衬底表面具有台阶流(step-flow)生长模式,可降低衬底的缺陷密度,提高晶体质量。XRD(004)、(311)摇摆曲线半峰宽分别...
据交大新闻网早前消息，西安交通大学王宏兴教授团队采用自主研发技术，成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的量产，这对于半导体器件全面提升性能，为国内半导体产业前沿领先原材料供给和技术发展提供了重要保障。“大尺寸单晶金刚石生产设备和高质量单晶金刚石衬底的制备技术，是我们需要攻克的关键技术，以打破国外的...
近日,西安交大研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化(如图一所示)。通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控,提高了异质外延单晶金刚石成品率。衬底表面具有台阶流(step-flow)生长模式(如图二所示),可降低衬底的缺陷密度,提高晶体质量。XRD(004)、(311...