原理是通过使用21级曝光尺，可确定和监控曝光物的曝光时间以及随后的聚合度。为了确定正确的曝光值，维持时间和显像条件必须是相容的。使用的Stouffer21级曝光尺将超过50%民阻剂覆盖定义为最后一个阶段。需要一定的相容维持时间以使聚合过程完成并进入稳定状态。