晶体硅太阳电池光伏技术磁控溅射成分比例膜材料靶材陶瓷靶2019年,HJT电池产业界出现了一种新型的TCO膜材料,称为SCOT[30],其成分比例为In2O3:ZrO2:TiO2:Ga2O3=98.5:0.5:0.5:0.5.这是一种可以制备成磁控溅射旋转陶瓷靶的接近IWO的材料,由于其可以制备成高In含量的靶材,因此导电性较好,但针对这种靶材的一些细节并...
2019年,HJT电池产业界出现了一种新型的TCO膜材料,称为SCOT[30],其成分比例为In2O3:ZrO2:TiO2:Ga2O3=98.5:0.5:0.5:0.5.这是一种可以制备成磁控溅射旋转陶瓷靶的接近IWO的材料,由于其可以制备成高In含量的靶材,因此导电性较好,但针对这种靶材的一些细节并未报道太多.中国可再生能源学会光伏专业委员会...