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摘要: 随着栅极氧化膜的减薄,等离子对氧化膜的损伤(Plasma Process Induced Damage,P2ID)越来越受到重视.它可以使MOS器件的各种电学参数发生变化,从而影响器件的性能.本文详细介绍了等离子损伤引起的机理,表征方法以及防止措施.关键词: 等离子;损伤;MOS器件
网络开小差了,请稍后再试 [东方时空]关注俄乌冲突 荷兰丹麦均确认将向乌提供F-16战机 选集 更多 《东方时空》 20241224 《东方时空》 20241223 《东方时空》 20241222 《东方时空》 20241221 《东方时空》 20241220 《东方时空》 20241218 《东方时空》 20241217 ...
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