C4F6,亦称六氟-1,3-丁二烯、HFBD,其作刻蚀使用具有以下优异性能:C/F比高达67%,与C4F8、C5F8相比,使用C4F6可得到更高的刻蚀速率选择比;与C4F8相比,C4F6有更高的对光阻和氮化硅选择比。这两个刻蚀优点,可提高刻蚀的稳定性和生产效率,从而提高产品良率和可靠性,因为随着器件尺寸推进到0.13um,孔的CD(关键尺寸)要...
EPA化学物质信息Hexafluoro-1,3-butadiene (685-63-2) 六氟-1,3-丁二烯 用途与合成方法 简介 六氟丁二烯又称全氟丁二烯,最初合成出来是作为聚合物的单体,但是其聚合物的性能不佳,没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。
六氟-1,3-丁二烯化学性质 熔点:-132°C 沸点:6-7°C 密度:1.553 蒸气压 :176.8kPa at 20℃ 折射率 :1.378 水溶解性 :230.5mg/L at 20℃ LogP :2.24 at 25℃ CAS 数据库 :685-63-2(CAS DataBase Reference) NIST化学物质信息 :1,3-Butadiene, 1,1,2,3,4,4-hexafluoro-(685-63-2) EPA化学...
含氟蚀刻气体主要包括:CF4、CHF3、CH2F2、CH3F、C2F6、c-C4F8、C4F6、C5F8等。各蚀刻气体用途及特点总结见表1。 表1. 含氟蚀刻气体 六氟丁二烯(C4F6)和八氟环戊烯(C5F8)作为新一代蚀刻气体,被认为具有竞争优势,尤其是C4F6。 C4F6用作半导体级含氟气体的市场需求在全面增长。它可取代CF4,用于KrF激光锐利蚀刻半...
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英文名称:HEXAFLUORO-1,3-BUTADIENE CAS编号:685-63-2 别名:六氟-1,3-丁二烯/C4F6; 六氟丁二烯,全氟丁二烯; 六氟-1,3-丁二烯; 全氟丁二烯; 纯度:99% 分子式:C4F6 产地:湖北 品牌:国产 用途:工业大生产 六氟-1,3-丁二烯 中文名:六氟-1,3-丁二烯 ...
产品名称: 六氟-1,3-丁二烯气体 有效成分含量: 99% 是否进口: 否 物流: 汽运 物理状态: 气体 纯度: 按需求定制 状态: 气体 优点: 纯度高 起批量: 面议 储存要求: 阴凉通风处 包装材质: 钢瓶阀门 颜色: 无色 挥发性: 低挥发 六氟-1,3-丁二烯 双层真空 安全性高 高纯特种电子...
六氟-1,3-丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。 产品信息概括 产品信息概括 化学名称六氟-1,3-丁二烯 别名全氟丁二烯 CAS号685-63-2 ELINCS号211-681-0 ...
中文名称:六氟-1,3-丁二烯中文同义词:六氟-1,3-丁二烯;全氟丁二烯;六氟-1,3-丁二烯/C4F6;六氟丁二烯,全氟丁二烯;六氟丁二烯英文名称:HEXAFLUORO-1,3-BUTADIENECAS号:685-63-2分子式:C4F6分子量:162.03EINECS号:211-681-0 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生...
英文名称:Perfluorobuta-1,3-diene97%;Per 外观:见详情 重金属:0.0001ppm CAS编号:685-63-2 别名:六氟-1,3-丁二烯/C4F6;六氟丁二烯,全氟丁二烯;六氟-1,3-丁二烯;全氟丁二烯 纯度:99% 用途:用途见说明 分子式:C4F6 产地:襄阳 品牌:诺纳化学