教育背景: 2002.09-2007.03北京理工大学,精密仪器及机械专业,硕博连读研究生 2007.04-2009.06北京理工大学,兵器发射理论与技术专业,博士后工作简历: 2009.06-2014.11中科院光电研究院,副研究员 2014.12-2018.10中科院光电研究院,研究员,投影光学研究室副主任 2018.11-至今中科院微电子研究所,研究员,光刻技术总体部副主任 研究...
齐月静，女，博导，中国科学院微电子研究所副主任 。人物经历 2015-01~现在, 中国科学院光电研究院, 研究员 2009-06~现在, 中国科学院光电研究院, 副研究员 2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后 主要成就 专利成果 （ 1 ） 一种调焦调平装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201110321960.4 （ 2...