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一、黄光的波长较长且穿透力强 在光刻过程中,光源发出的光线需要穿透硅片等材料并照射到光刻胶上。而黄光的波长较长,比蓝光等短波长光线更容易穿透硅片等材料,能够更好地到达光刻胶上方。因此,使用黄光可以更好地保证光刻胶的曝光质量,并且可以在一定程度上提高光刻机的工作效率。 二、黄光对光...
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一、 黄光技术的原理 黄光技术是一种光刻技术,主要是利用特殊的荧光材料来生成黄色光源。光刻技术是在光敏薄膜附着在硅片或其他底片之前,将图案暴露在光敏薄膜上的过程。黄光作为一种高效的曝光光源,被广泛地用于半导体行业,特别是在大规模集成电路制造中。 二、 黄光技术在光刻机中的应用 ...
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一种上述的光刻机的对准方法,其特征在于,包括以下步骤:通过多轴运动平台将承载有PCB板的基板台面移动到对准系统下方;开启黄光光源使用黄光照射PCB板,使得PCB板上的对位点在黄光光源照射下显现;通过固定对位相机抓取PCB板左上角的对位点,对位相机移动抓取X轴方向上的其他对位点,多轴运动平台在Y轴方向运动,固定相机...
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