近日,中国科学院上海光学精密机械研究所魏劲松研究员课题组和同济大学温鸣教授课题组联合提出一种基于405nm刻写波长的无掩模激光直写技术,利用无机热模光刻胶突破光学衍射极限实现最小41nm图形结构的制造。该策略利用高斯激光的热致晶化作用,在...
应用方向:汽车检测 船舶 生物医学 上海内燃机研究所 上海内燃机研究所始建于1956年6月,原是国家机械工业部直属的大型综合性研究所,并于1999年8月整建制进入上汽集团总公司。2002年8月,与上汽技术中心组成了汽车工程研究院。在上汽集团的大力支持下,上内所积极面向全行业,提供产品开发、技术服务、信息及标准支持,在继...
魏劲松，现为中国科学院上海光学精密机械研究所研究员、中国科学院大学（国科大）博士生导师、上海大学微电子学院联聘教师。人物经历 2011年8月-中国科学院大学（国科大）博士生导师 2010年11月- 中国科学院上海光机所 研究员 2005年11月-2010年10月中科院上海光机所副研究员,硕士生导师 2004年04月-2005年10月...