高耐压和低暗计数SiC紫外雪崩光电二极管 认领 被引量:4 SiC UV Avalanche Photodiode with High Voltage Withstanding Capability and Low Dark Count Rate 引用 收藏 分享 摘要 碳化硅(SiC)雪崩光电二极管(APD)是一种独具优势的微弱紫外光探测器,其过偏压承受能力是确保器件可靠工作的一个重要因素。本工作设计并制备...