国内贵金属加工企业制造加工与研发与国外相比,尚有一定差距,迫切需要提升贵金属的高纯化、精细化、高效率深加工技术,实现金属的高附加值及高效利用。本文在对半导体制造用高纯贵金属溅射靶材的应用进行分析基础上,对高纯贵金属原材料制备、靶材加工以及回收利用等方面进行了论述,探讨半导体制造中关键贵金属靶材的应用和...
高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术
2013年11月第34卷第S1期贵金属PreciousMetalsNOV.2013Vb1.34.NO.S1高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术何金江,陈明,朱晓光,罗俊锋,尚再艳,贺昕,熊晓东f北京有色金属研究总院有研亿金新材料股份有限公司,北京102200)摘要:高纯Au、Ag、Pt、Ru贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD工艺制程中的溅射源材料,广泛用于...
贵金属靶材物理气相沉积技术制备工艺高纯Au,Ag,Pt,Ru 贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD 工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料.材料的高纯化,高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸,热机械处理,粉末烧结,焊接等)以及贵金属靶材残靶及...