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SiC高温氧化炉 SiC高温氧化炉核心卖点 产品简介 应用于SiC MOSFET或IGBT器件低缺陷界面和高通道迁移率的栅氧生长工艺;也可用于其他高温氧化工艺。 产品特点 双层真空密封结构,温度和气流均勻性佳; 高洁净热场材料体系避免高温金属和颗粒沾污; 可实现低压、干氧、NO等多种气氛处理工艺; 具备在线金属离子清洗功能...
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高温氧化炉是半导体器件加工中的典型热处理设备,用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行氧化、退火、合金及烧结等工艺。 产品特点 高产能,单管产能可达1600片/批; 温控系统性能出色,采用可预测型五段双回路智能温控系统以及新型炉体,控温精度和回温性能优异; 全套倍福系统及总线控制方式,可靠性和信息化化性...
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产品名称:高温热力氧化炉(TO) 详细说明 产品介绍 直燃式废气焚烧炉,是利用辅助燃料燃烧所发生热量,把可燃的有害气体的温度提高到反应温度,从而发生氧化分解。本公司积累多年治理有机废气设备制造的经验,在实践的基础上研制出直燃式废气焚烧炉,该设备具有占地面积小,燃烧效率高、容易管 理,余热能回收利用等优点,受到用...
1. 高温环境能力 高温氧化炉最显著的特点之一是其卓越的高温环境能力,能够稳定地达到并维持在高达2500度(或根据具体型号可能有所不同)的极端高温下工作。这一特性为需要高温环境进行化学反应、相变或物理性质改变的材料处理提供了可能,如陶瓷材料的烧结、金属材料的氧化处理以及高温合金的热处理等。2. 高效加热 该...