顾海洋博士进一步从供给角度分析，指出正如其名称所代表的，CMP设备是一种集机械、流体力学、表面化学、精细化工、软件算法等多领域先进技术于一体的设备，其设计制造是一个复杂精密的系统工程，在半导体制造设备中亦属技术复杂度较高的品种，目前市场份额由应用材料和日本荏原两大厂商高度垄断，工艺方案与设备布局历经
发布了头条文章:《众硅科技顾海洋博士:国产CMP设备取得阶段性成果,下一步推动先进制》 °众硅科技顾海洋博士:国产CMP设备取得阶段性... 手机中国联盟官博 众硅科技顾海洋博士:国产CMP设备取得阶段性成果,下一步推动先进制 û收藏 转发 评论 ñ赞 评论 o p 同时转发到我的微博 按热...
集微网消息,在7月16日举行的第六届集微半导体峰会核心环节—半导体设备材料论坛上,杭州众硅电子科技有限公司创始人&董事长顾海洋博士,带来了关于国产CMP设备工艺技术发展趋势及最新产品发布的精彩分享。 曾在应用材料公司有十多年工作经验的顾海洋博士,首先简要梳理了化学机械平坦化(CMP)工艺发展史,指出其为解决0.35微米...