一文读懂硅片面形检测技术 硅片面形检测是半导体生产过程中的关键质量控制环节，旨在确保硅片的几何参数和表面质量符合严格的行业标准。该检测过程涉及多个维度的测量和分析，包括但不限于平面度、厚度、表面缺陷、表面粗糙度、内部应力、弯曲度、微裂纹、化学成分以及清洁度。平面度检测：采用先进的干涉仪技术，对硅片进行...
2.无接触式测量:使用三坐标测量机和干涉仪等设备进行测量,可以避免物理接触对表面的影响。 3.多角度检测:通过在不同角度下对表面进行反射或透射,来获取全方位的表面形态信息。 4.数据处理:对测量结果进行统计分析,剔除误差后得到与设计要求相符的表面形态。 五、结论 光学零件表面面形的检测需要采用适当的设备和技术...
干涉仪基于光的干涉原理,即由于光的波动性质,在两束光线相遇处会出现干涉条纹,通过对干涉条纹的观察和分析来确定被测物体的长度、表面形貌或者命名对称性等信息。 二、干涉仪检测面形的原理 干涉仪检测面形主要基于将平行光线照射到被检测物体上形成的两束光线,一束光线经过反射或透射后直接到达干涉仪的接收器上,...
激光数字波面干涉仪能够检测复杂的光学曲面,满足多样化需求。其检测数据的处理算法先进,能够快速得出准确的结果。检测系统具备高度的自动化,大大降低了人为操作误差。 对于微小光学元件,该技术同样能够实现精准的面形检测。并且,检测结果可重复性高,为质量控制提供了可靠依据。利用该技术,能够发现光学面形中潜在的缺陷和...
点线式测量法是一类传统的面形检测方法,主要用于自由曲面元件加工过程中的铣削和研磨阶段。目前,典型的点线式测量方法主要有三坐标测量机法、轮廓仪法、摆臂式轮廓扫描法等。 三坐标测量机法 三坐标测量机法(Coordinate Measurement Machine,CMM)是大口径高次非球面加工过程中的主要面形测量手段,其中机械臂研抛工序中...
在现代化的汽车工业中,汽车玻璃不仅仅是为了遮风挡雨的存在,它承担着多重重要使命——确保驾乘人员的安全、提供清晰的视线、维持车内环境的舒适度,乃至增强车辆的整体审美感受。汽车玻璃面形检测,作为一项贯穿于设计、生产和安装全过程的严格质控程序,运用了众多高新技术手段,旨在精确实时地监测与评估玻璃的各项性能指标...
做补偿器检测面形加工成本高、通用性不好、加工难度大,为解决对多个参数不同的非球面需要不同的补偿器的问题,提出了一种基于空间光调制器(spatial light modulator,SLM)作为补偿器的干涉面形检测方法,该干涉检测法采用反射式空间光调制器作为零位补偿器,结合偏振分光镜和波片建立检测光路,可以实现对非球面面形误差的...
水下检测 智能管理光学玻璃表面面形3D检测光学玻璃的面形检测需要极高要求 光学玻璃主要是玻璃或者晶体,它常用于各类精密的光学仪器上,是构成精密光学仪器设备不可或缺的零件,因此它是需要有极高的加工精度要求的。对于它的质量检测,其中一个重要的参数是面形检测,包括平行度、平面度和表面粗糙度等。为了保证它的检...
一、高频信号对面形检测的影响 干涉仪中的高频信号是检测面形的关键信号之一,其频率范围一般在几百MHz到几GHz之间。高频信号的频率越高,精度也就越高,但是同时也受到了更多干扰,比如来自电磁场的干扰。 二、环境温度和湿度对面形检测的影响 干涉仪的光路系统一般是由光学元件组成的,...