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1、陶瓷真空吸盘的工作原理 多孔陶瓷真空吸盘，作为一种利用真空吸附原理来固定工件的承载平台，其核心部件是多孔陶瓷板。该陶瓷板被精密地装配在底座的沉孔中，并与底座周边粘结密封，确保良好的气密性。底座通常由精密陶瓷或金属材料精制而成，配合特殊设计的多孔陶瓷板，形成精密的气道系统。当施加负压时，该系统能将...
陶瓷真空吸盘是由多孔陶瓷材料制作,孔径分布均匀,内部相互贯通,表面经研磨后,光滑细腻,平整性好,广泛应用于硅、蓝宝石、砷化镓等半导体晶圆的制造环节。 图 陶瓷吸盘应用示意图,来源:RPS 一、什么是陶瓷真空吸盘 1、陶瓷真空吸盘的工作原理 多孔陶瓷真空吸盘(Porous Ceramic Vacuum Chuck),是利用真空吸附原理固定工件的...