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陶瓷机械手臂,在业界亦被称作陶瓷手指或晶圆传输末端执行器,是晶圆搬运机器人上的关键部件,扮演着‘机器人之手’的角色,专用于精准搬运晶圆硅晶片至目标位置。其核心优势在于其由氧化铝陶瓷打造,这一材质赋予了它气密性高、耐磨性强、防静电、耐腐蚀以及硬度仅次于金刚石的特质。因此,陶瓷机械手臂能在酸碱腐蚀环境中长...