一、机身结构 光驰镀膜机的机身主要由上壳体、下壳体、门、气缸、气缸支架等组成。其中,上下壳体由不锈钢板材制成,门则采用磁力吸附设计,方便操作。 二、真空系统 真空系统是光驰镀膜机的核心部分,主要由主泵、辅助泵、气缸、阀门等组成。主泵采用机械泵,辅助泵采用分子泵,能够快速将腔体抽成高...
此外,镀膜机还可能包括其它部分,如气体供应系统、冷却系统、清洗系统等。气体供应系统用于提供镀膜所需的气体,如氮气、氩气等。冷却系统用于冷却镀膜源和基片台等部件,以防止它们过热。清洗系统用于清洗镀膜室和基片,以保证镀膜的质量。 总之,镀膜机的设备结构复杂,各个部分相互配合,共同完成镀...
镀膜机的基本结构课件2、镀膜机的 基本结构 设备型号讲解 设备型号举例:OTFC 1300 DBI 设备种类 大小 配置 •设备种类分为 OTFC和 Gener •真空室大小分为600、900、1300、1550、1800、2350 •配置说明: C: 冷凝泵 D: 扩散泵 B: 电子枪 I: 离子源 设备机构总成 1. 真空腔体 2. 抽气以及排气系统 3...
镀膜机的工作原理及结构如下：1、镀膜机的工作原理是通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜，以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。2、镀膜机的结构主要由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成。其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体，镀膜过程就是在真空罐中完成的，通过...
真空腔作为高真空镀膜机的核心组件，其设计精巧且功能关键。它提供了一个高真空度的环境，为镀膜过程提供了必要的条件。同时，其结构也经过优化，以确保在镀膜过程中能够保持稳定的真空度，从而保证镀膜的质量和效率。真空腔的尺寸会因加工产品的不同需求而有所差异，常见尺寸包括直径1.3米、0.9米、1.5米和1.8...
真空室是真空镀膜机的核心部分,通常由不锈钢、玻璃等材料制成。它的作用是提供一个真空环境,使得镀膜材料在真空下蒸发并沉积在基材表面上。真空室的大小和形状根据不同的应用需求进行设计,一般有单室和多室两种结构。 二、镀膜源 镀膜源是将镀膜材料蒸发或离子化的设备,通常有电子束蒸发源、磁控溅射源、电弧...
镀膜机的工作原理和结构如下: 工作原理: 镀膜机的工作原理主要包括物理蒸发镀膜、化学气相沉积和物理气相沉积等方法。其中,物理蒸发镀膜是通过将原料加热至其蒸发温度,然后使蒸汽在基材表面冷凝成薄膜;化学气相沉积是通过将气体或气体混合物引入反应室,通过化学反应在基材表面沉积出薄膜;物理气相沉积则是通过离子轰击或...
pvd镀膜机的结构 PVD镀膜机的结构主要包括以下几个部分: 1.真空腔体:镀膜过程需要在高真空条件下进行,真空腔体是保持腔体内高真空状态的关键部分。通常由不锈钢或其他耐腐蚀材料制成,内部经过特殊处理以避免气体泄漏。 2.靶材供应系统:靶材是用来产生蒸发物或离子束的来源。靶材供应系统通常由加热器、靶材支架和传感器...
本文介绍了真空镀膜机的组成结构以及各部件的作用,包括真空腔体、电极、真空泵及控制系统等,旨在帮助读者了解该设备的原理和工作流程。
镀膜机基本结构.ppt,离子源控制器 真空计种类 BPG:热电离真空计 PEG:冷电离真空计 SC2:管道真空计 SC1:爱发科真空计 抽气以及排气硬件系统-(图1) 机械泵 油吸附塔 罗茨泵 排气管道 粗抽阀 FV阀 油扩散泵 高真空阀 高真空阀 PLC抽气以及排气软件系统(图2) 真空泵 机械